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Apreo 2 SEM扫描电镜如何提高图像的分辨力

更新时间:2022-08-28   点击次数:810次
  Apreo 2 SEM扫描电镜可以获得高分辨率和真实的厚样品形貌扫描电子显微镜的分辨率介于光学显微镜和透射电子显微镜之间,但在比较厚样品的观察时,由于透射电子显微镜也采用层压法,层压的分辨率通常只有10nm,而且观察的不是样品本身。因此,用扫描电镜观察厚样品,获得样品的真实表面数据更为有利。
 
  为提高Apreo 2 SEM扫描电镜图像的分辨力,常采用的途径和方式有下列几种。
 
  (1)在物镜的极靴附近加设一个特殊的附加静电装置,用来同时汇集一次电子并提取二次电子,再加上物镜顶部环形探测器接收的面积大,灵敏度高,在短工作距离下能明显改善图像的信噪比和提高分辨力。
 
  (2)采用透镜内探测器或安装在物镜上方的探测器(TLD-SED),都能明显改善低加速电压和短工作距离时的图像信噪比和分辨力。在WD较小时,不仅可以减小物镜球差和消除传统E-T探测器前端栅网上加速电位带来的影响,而且它接收到的几乎都是在入射束照射下直接产生的二次电子,排除了背散射电子等其他信号所产生的次生或间接的二次电子,因而有助于提高图像分辨力。
 
  (3)利用高亮度的场发射电子枪来作电子源的阴极以提高束流密度,从而提高亮度。
 
  (4)缩短工作距离,既可以相对增大信号量、提高信噪比,又可以减小像差,也就是把试样尽量移近物镜极靴,这类似于光学显微镜中的短焦距“浸没透镜”方式。物镜的极靴区是获得高分辨图像的有效部位但由于该处的空间很小,一般只有毫米级的试样才能进得去,而且试样的移动范围很小,操作起来要格外小心,否则容易“四处碰壁”。这种模式由于焦距短,束斑受外界的影响小,像差也小,且能进入到该区域的试样座也要小,小样品台的稳定性相对会比较好,所以在该区域拍摄的照片,其图像分辨力能得到明显提高。
 
  (5)使用强磁透镜,这是在透射电镜中装上附加的扫描附件,使试样发出的二次电子在强磁场中被检测、收集成像,即利用透射电镜的扫描附件做出扫描电镜才能完成的二次电子像,而且这种二次电子像的分辨力往往优于同类电子枪的专业扫描电镜。