TH511 TH512 TH513半导体C-V特性分析仪

通道数

2（可选配4/6通道）

1

显示

显示器

10.1英寸(对角线)电容触摸屏

比例

16:9

分辨率

1280×RGB×800

测量参数

Ciss、Coss、Crss、Rg ，四参数任意选择

测试频率

范围

1kHz-2MHz

精度

0.01%

分辨率

10mHz

1.00000kHz-9.99999kHz

100mHz

10.0000kHz-99.9999kHz

1Hz

100.000kHz-999.999kHz

10Hz

1.00000MHz-2.00000MHz

测试电平

电压范围

5mVrms-2Vrms

准确度

±（10%×设定值+2mV）

分辨率

1mVrms

5mVrms-1Vrms

10mVrms

1Vrms-2Vrms

VGS电压

范围

0 - ±40V

准确度

1%×设定电压+8mV

分辨率

1mV

0V - ±10V

10mV

±10V - ±40V

VDS电压

范围

0 - ±200V

0 - ±1500V

0 - ±3000V

准确度

1%×设定电压+100mV

输出阻抗

100Ω，±2%@1kHz

数学运算

与标称值的绝对偏差Δ，与标称值的百分比偏差Δ%

校准功能

开路OPEN、短路SHORT、负载LOAD、夹具校准

测量平均

1-255次

AD转换时间（ms/次）

快速+：2.5ms(＞5kHz) 快速：11ms 中速：90ms 慢速：220ms

最高准确度

0.5%（具体参考说明书）

Ciss、Coss、Crss

0.00001pF - 9.99999F

Rg

0.001mΩ - 99.9999MΩ

Δ%

±（0.000% - 999.9%）

多功能参数列 表扫描

点数

50点，每个点可设置平均数，每个点可单独分选

参数

测试频率、Vg、Vd、通道

触发模式

顺序SEQ：当一次触发后，在所有扫描点测量，/EOM/INDEX只输出一次

步进STEP：每次触发执行一个扫描点测量，每点均输出/EOM/INDEX，但列表扫描比较器 结果只在最后的/EOM才输出

图形扫描

扫描点数

任意点可选，最多1001点

结果显示

同一参数、不同Vg的多条曲线；同一Vg、不同参数多条曲线

显示范围

实时自动、锁定

坐标标尺

对数、线性

扫描参数

Vg、Vd

触发方式

手动触发一次，从起点到终点一次扫描完成，下个触发信号启动新一次扫描

结果保存

图形、文件